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IST-FAB
​나노인프라 사업단

나노인프라의 시설·장비 고도화를 통해

​국가 핵심현안 대응력 향상에 기여하겠습니다.

 

INTRODUCTION
사업단 소개

IST-FAB 나노인프라 사업단

대구경북과학기술원 차세대반도체융합연구소

울산과학기술원 연구지원본부가 힘을 합쳐

'IST-FAB 나노인프라 사업단'을 구성함

•  영남권 및 강원권의 나노인프라 지원체계를 구축하여

권역 내 다양한 교육·연구·산업 수요를 충족시키고자 함

DGIST FABRICATION FACILITY

• 클린룸 1,548㎡, 분석실 1,028㎡, 중앙설비동(CUB) 2,144㎡

• Class 100-1000, Si Device, MEMS, CMOS, GaN 소자 제작 가능

• i-line Stepper 등 73대의 공용 장비 구축 및 운영
• 6인치 반도체 웨이퍼기반의 전 공정 장비 구축

• 국내 반도체 팹 최초로 과기부 안전 관리 우수 실험실 인증 획득

UNIST FABRICATION FACILITY

• 1,100㎡ 면적의 수직 복층구조 100 Class 클린룸 
• 50여 종 반도체 생산장비 구축
(Photo 10, Etching 13, Thin Fim 15, Inspection&Packaging 12)
• 6인치 반도체 웨이퍼 기반 장비 구축
(Sensor, Solar Cell, MOSFET, MEMS 등 소자 제작 가능)

IST-FAB 나노인프라 활용 기관 모집 중

• 활용기관 의향서 제출시 향후 이용에 대한 헤택 다수 지원(의무사항 없음)
장비 수요조사서 제출시 해당 내용은 신규 장비 도입 시기에 반영 진행

Vision & Goal

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Strategies

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나노인프라 지원체계를 고도화 하여

1. 연구, 기업지원형, 산업요구형 열린 공공서비스 시스템을 구축하고

2. 반도체 인재양성을 교육함으로써

최종적으로 'CMOS 집적플랫폼-차세대 반도체 기반 융합 디바이스' 플랫폼 개발을 지원하겠습니다.

 
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IST-FAB 나노인프라 사업 책임자 소개

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이명재
IST-FAB 나노인프라 사업책임자
 

장비이용안내

장비 이용 의뢰 및

직접이용 가능

FAB 시설이용안내​

1개월/6개월 단위

FAB 활용 가능 

교육·세미나

장비 교육,

일반교육/세미나,

출입권한교육,

안전교육 등

다양한 교육 진행

기술 자문

지역 기업 및 연구기관

연구자 대상 기술자문 지원

 

연구 인프라 이용 안내

IST-FAB 나노인프라 사업단

대구광역시 달성군 현풍읍 테크노중앙대로 333, R6

이메일: inst@dgist.ac.kr

전화:

  (사업 문의) DGIST 연구진흥팀 정동혁 행정원(053-785-1933)
  (인프라 문의) DGIST 차세대반도체융합연구소 김상일 선임(053-785-0510)
                       UNIST 연구지원본부 김민재 리더(052-217-4064)

 

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