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IST-FAB
나노인프라 사업단
나노인프라의 시설·장비 고도화를 통해
국가 핵심현안 대응력 향상에 기여하겠습니다.
INTRODUCTION
사업단 소개
IST-FAB 나노인프라 사업단
• 대구경북과학기술원 차세대반도체융합연구소와
울산과학기술원 연구지원본부가 힘을 합쳐
'IST-FAB 나노인프라 사업단'을 구성함
• 영남권 및 강원권의 나노인프라 지원체계를 구축하여
권역 내 다양한 교육·연구·산업 수요를 충족시키고자 함
DGIST FABRICATION FACILITY
• 클린룸 1,548㎡, 분석실 1,028㎡, 중앙설비동(CUB) 2,144㎡
• Class 100-1000, Si Device, MEMS, CMOS, GaN 소자 제작 가능
• i-line Stepper 등 73대의 공용 장비 구축 및 운영
• 6인치 반도체 웨이퍼기반의 전 공정 장비 구축
• 국내 반도체 팹 최초로 과기부 안전 관리 우수 실험실 인증 획득
UNIST FABRICATION FACILITY
• 1,100㎡ 면적의 수직 복층구조 100 Class 클린룸
• 50여 종 반도체 생산장비 구축
(Photo 10, Etching 13, Thin Fim 15, Inspection&Packaging 12)
• 6인치 반도체 웨이퍼 기반 장비 구축
(Sensor, Solar Cell, MOSFET, MEMS 등 소자 제작 가능)
Vision & Goal
Strategies
나노인프라 지원체계를 고도화 하여
1. 연구, 기업지원형, 산업요구형 열린 공공서비스 시스템을 구축하고
2. 반도체 인재양성을 교육함으로써
최종적으로 'CMOS 집적플랫폼-차세대 반도체 기반 융합 디바이스' 플랫폼 개발을 지원하겠습니다.
IST-FAB 나노인프라 사업 책임자 소개
연구 인프라 이용 안내
IST-FAB 나노인프라 사업단
대구광역시 달성군 현풍읍 테크노중앙대로 333, R6
이메일: inst@dgist.ac.kr
전화:
(사업 문의) DGIST 연구진흥팀 정동혁 행정원(053-785-1933)
(인프라 문의) DGIST 차세대반도체융합연구소 김상일 선임(053-785-0510)
UNIST 연구지원본부 김민재 리더(052-217-4064)
궁금하신 점이 있으시면 아래 양식을 작성하여 제출해주시기 바랍니다.
